台灣半導體 ETF 一覽（上市櫃 9 檔）
半導體主題 ETF 聚焦台灣與全球半導體供應鏈，景氣週期明顯、波動大，需留意產業集中風險。
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半導體 ETF 依規模排行
依規模（在外發行單位數 × 市價）估算排序；為估算值、非官方公告 AUM，僅供比較參考。
| 代號／名稱 | 類型 | 市價 | 漲跌幅 | 折溢價 | 費用率 | 規模(估) | 受益人(週Δ) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 00830 國泰費城半導體 | 被動 | 67.95 | -7.17% | 淨值 65.58（11/5） | 0.41% | 675 億 | 201,829 +6,253 |
| 00891 中信關鍵半導體 | 被動 | 28.79 | -5.39% | 淨值 28.73（11/6） | 0.43% | 613 億 | 213,131 +6,465 |
| 00892 富邦台灣半導體 | 被動 | 32.12 | -5.36% | 淨值 32.01（11/6） | 0.43% | 115 億 | 52,056 +5,115 |
| 00941 中信上游半導體 | 被動 | 22.58 | -4.12% | 淨值 22.73（11/5） | 1.10% | 100 億 | 45,510 -172 |
| 00904 台新臺灣半導體30 | 被動 | 31.22 | -5.25% | 淨值 31.28（11/6） | 0.43% | 65 億 | 32,011 -30 |
| 00951 台新日本半導體ETF | 被動 | 12.49 | -6.65% | 淨值 13.11（11/5） | 0.65% | 32 億 | 16,828 +1,082 |
| 00913 兆豐台灣晶圓製造ETF | 被動 | 39.21 | -6.55% | 淨值 36.89（11/6） | 0.49% | 25 億 | 18,656 +114 |
| 00954 中信日本半導體 | 被動 | 13.1 | -7.81% | 淨值 13.93（11/5） | 0.75% | 20 億 | 12,208 +645 |
| 00911 兆豐洲際半導體 | 被動 | 46.24 | -3.45% | 淨值 41（11/5） | 1.05% | 13 億 | 11,535 -16 |
漲跌幅＝市價對前日收盤；折溢價：主動＝投信預估淨值（iNAV）；被動式的淨值由投信盤後公告、日期早於最新市價，本頁不跨日估算、改列最近公告淨值與日期（同日收盤與淨值對齊的估算值見各檔詳情頁）；費用率＝經理費＋保管費年率（不含指數授權費等其他費用，實際總費用以年報為準），來源逐步擴充中、標「尚未收錄」表本站尚未取得；受益人數為每週 TDCC 揭露（含週增減）。點欄位標題可排序。
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